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Gigaphoton氖气回收系统50%回收率,拯救芯片制造

Gigaphoton氖气回收系统50%回收率,拯救芯片制造

Gigaphoton推出全球首个氖气回收系统,声称50%回收率,专为DUV光刻机设计。全球70%氖气用于半导体制造,该系统有望降低对进口氖气的依赖,缓解供应链风险。点击了解技术细节与行业影响。

2026-09-29
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